摘要：使用電沉積方法制備了用于微電機(jī)系統(tǒng)的Co-Pt-P磁性薄膜。研究了次磷酸鈉的濃度對(duì)薄膜的沉積速率、厚度、成分、表面形貌及磁性能的影響。結(jié)果表明:提高次磷酸鈉的濃度,有利于加快沉積速率,提高薄膜中鈷和磷的質(zhì)量分?jǐn)?shù)。Co-Pt-P磁性薄膜是一種典型的瘤狀顆粒膜。磷的析出有利于細(xì)化薄膜表面顆粒,限制疇壁位移,從而大大提高薄膜的矯頑力。然而,高濃度的次磷酸鈉會(huì)破壞鍍液的穩(wěn)定性,使薄膜的磁性能下降。