摘要：提出一種光刻機(jī)物鏡主動(dòng)阻尼接口方案及測(cè)量系統(tǒng)布局方案,采用有限元仿真方法評(píng)估了在工作臺(tái)質(zhì)心變化及動(dòng)態(tài)沖擊狀態(tài)下物鏡內(nèi)部相對(duì)靜變形及動(dòng)態(tài)響應(yīng)滿足指標(biāo)需求;結(jié)合測(cè)量系統(tǒng)布局設(shè)計(jì)了工作臺(tái)水平向及垂直向補(bǔ)償策略,實(shí)現(xiàn)了物鏡至測(cè)量系統(tǒng)間的相對(duì)靜變形及動(dòng)態(tài)響應(yīng)滿足指標(biāo)需求;采用機(jī)電聯(lián)合仿真方法評(píng)估了物鏡主動(dòng)阻尼方案幅值衰減滿足指標(biāo)需求并通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)物開(kāi)/閉環(huán)傳函測(cè)試驗(yàn)證了仿真的準(zhǔn)確性。