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計量電鏡中納米位移臺控制方法研究

李雪; 殷伯華; 許廣鹿; 韓立; 劉俊標 中國科學院電工研究所; 北京100190; 中國科學院大學; 北京100049; 生物電磁學北京市重點實驗室; 北京100190
  • 納米位移臺
  • 定位精度
  • 納米步進
  • dsp控制
  • 角度旋轉

摘要:針對計量型掃描電鏡成像方法的特殊需求,提出了一種新型的納米位移臺掃描運動控制方法。利用乘法DA控制方法實現了納米位移臺驅動信號的整形輸出。利用該模擬信號實現了納米位移臺的掃描范圍的增益控制,掃描圖像的旋轉和偏移控制。該控制方法有效地的保持了納米位移臺的步進位移分辨力,克服了傳統納米位移臺控制系統損失納米步進精度的缺點。通過實驗驗證了此位移臺控制新方法的可行性,位移臺移動方式和理論吻合。

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