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保溫時間對GaAs功率芯片釬縫組織及性能的影響

任衛(wèi)朋; 羅燕; 劉凱; 陳靖; 王立春 上海航天電子技術(shù)研究所; 上海200240
  • gaas芯片
  • ausn20釬料
  • 過渡層
  • 界面反應(yīng)
  • 組織演變

摘要:GaAs芯片的使用性能受其散熱效果決定,而散熱主要依靠散熱墊塊與芯片連接的釬縫來決定。為增加釬縫的散熱效果和基體結(jié)合強(qiáng)度,文中分別在芯片層利用物理氣相沉積方法沉積Pd和Au膜,而在Cu/Mo/Cu散熱墊塊上沉積Ni和Au膜,采用AuSn20共晶釬料,研究保溫時間對釬焊縫組織和界面結(jié)合性能影響。研究結(jié)果表明:共晶結(jié)構(gòu)主要由15~20μm厚的合金層和0.5~3μm厚的IMC層構(gòu)成。隨著保溫時間延長,合金中Sn元素會逐漸被IMC層消耗,合金成分往富Au的(L+ζ′)相區(qū)遷移,相比例增加,保溫時間超過60 s后, IMC層厚度超過3.9μm,剪切力快速減小至89.67 N。

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焊接技術(shù)

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