摘要：碳剝離膜作為剝離器的核心組成部件是醫(yī)用重離子加速器的重要裝置之一,研制出滿足醫(yī)用重離子加速器要求的碳剝離膜至關(guān)重要。采用交流弧光放電法完成了醫(yī)用重離子加速器中碳剝離膜的研制,并用掃描電子顯微鏡和拉曼表征手段測(cè)試分析了碳剝離膜的薄膜特性。為了不影響已注入環(huán)中離子的正常運(yùn)行,靶框設(shè)計(jì)為U型,靶邊框較窄僅為2 mm,碳剝離膜的有效面積為1 600 mm(2 40 mm×40 mm)。碳剝離膜的厚度為15μg·cm^?2,理論計(jì)算結(jié)果表明該碳剝離膜的厚度均勻性為97.65%。碳剝離膜具有一定的機(jī)械韌性,可以完成碳剝離膜的自動(dòng)換膜過程,且在自動(dòng)換膜過程中無破裂損傷。掃描電子顯微鏡觀測(cè)結(jié)果顯示:碳剝離膜的表面平整,內(nèi)部結(jié)構(gòu)致密。拉曼測(cè)試結(jié)果表明:位于1 580 cm^?1附近的G峰明顯強(qiáng)于位于1 300 cm^?1附近的D峰,說明薄膜的石墨化程度較高;2 700 cm^?1左右的2D峰較弱,說明石墨分子層數(shù)較多。