摘要：為了改善鈦合金表面的抗微動磨損性能,采用非平衡磁控濺射技術在鈦合金(TC4)表面沉積了不同調制比(2∶1、1∶1、1∶2)的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多層固體潤滑膜(調制周期均為2μm)。利用掃描電鏡、劃痕儀、XRD、維氏顯微硬度計、微動摩擦磨損試驗機、3D表面輪廓儀對多層膜的形貌、結合力、物相、硬度、抗微動磨損性能、磨痕形貌進行分析測試。結果表明,所制備的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多層膜交替結構清晰,結構致密,在12000個微動循環周期后,測得MoS2-Ti/Cu-Ni-In多層膜在調制比為工藝2∶1、1∶1時,多層膜的室溫平均微動系數分別為0.071、0.065,其最終磨損總量分別為0.087mm3、0.045mm3,多層膜具有良好的抗微動磨損效果。