首頁(yè) > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 信息科技 > 無(wú)線電電子學(xué) > 壓電與聲光 > LiNbO3單晶薄膜體聲波諧振器的研制 【正文】
LiNbO3單晶薄膜體聲波諧振器的研制
彭霄; 田本朗; 毛世平; 杜波; 蔣欣; 徐陽(yáng); 馬晉毅; 蔣平英 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所; 重慶400060
- 機(jī)電耦合
- 智能截割
- 薄膜體聲波諧振器
摘要：該文介紹了一種采用智能截割(Smart CutTM)技術(shù)制備的單晶鈮酸鋰(LiNbO3)薄膜體聲波諧振器。采用COMSOL有限元仿真軟件從材料和結(jié)構(gòu)兩方面對(duì)LiNbO3薄膜體聲波諧振器進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)高機(jī)電耦合系數(shù),并通過(guò)Smart CutTM工藝方法制備了高性能Z切-LiNbO3單晶薄膜作為諧振器的壓電層,最終得到LiNbO3薄膜體聲波諧振器的諧振頻率為3847.5MHz,反諧振頻率為3986.25MHz,插入損耗為1.81dB,諧振器有效機(jī)電耦合系數(shù)達(dá)到8.3%。
- 機(jī)電耦合
- 智能截割
- 薄膜體聲波諧振器
摘要：該文介紹了一種采用智能截割(Smart CutTM)技術(shù)制備的單晶鈮酸鋰(LiNbO3)薄膜體聲波諧振器。采用COMSOL有限元仿真軟件從材料和結(jié)構(gòu)兩方面對(duì)LiNbO3薄膜體聲波諧振器進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)高機(jī)電耦合系數(shù),并通過(guò)Smart CutTM工藝方法制備了高性能Z切-LiNbO3單晶薄膜作為諧振器的壓電層,最終得到LiNbO3薄膜體聲波諧振器的諧振頻率為3847.5MHz,反諧振頻率為3986.25MHz,插入損耗為1.81dB,諧振器有效機(jī)電耦合系數(shù)達(dá)到8.3%。
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壓電與聲光
- 預(yù)計(jì)1-3個(gè)月 預(yù)計(jì)審稿周期
- 0.36 影響因子
- 電子 快捷分類(lèi)
- 雙月刊 出版周期
主管單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司;主辦單位：中國(guó)電科第二十六研究所
