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TFT-LCD摩擦工藝過程中靜電放電不良分析及改善設計
王國磊; 陳鵬; 李恒濱; 王景棚; 杜化鯤; 馬力; 宋紅花; 王勇輝; 張熠點; 李寧 合肥鑫晟光電科技有限公司; 安徽合肥230012
- 薄膜晶體管液晶顯示器
- 靜電放電
- 靜電保護
摘要：本文對摩擦工藝過程中的線不良進行了分析,通過切割驗證、設計方案變更驗證了降低ESD風險的兩個方向。通過實際的驗證結果分析發現,減小填充圖形的面積或者將填充圖形連接到公共電極,同時搭配填充圖形到信號線的距離增加到大于60μm,可以大大降低靜電放電發生的概率,不良率由20%降低到0%。結果充分表明,此設計方案可應用于實際產品設計中以降低摩擦工藝過程中的ESD風險。
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- 靜電放電
- 靜電保護
摘要：本文對摩擦工藝過程中的線不良進行了分析,通過切割驗證、設計方案變更驗證了降低ESD風險的兩個方向。通過實際的驗證結果分析發現,減小填充圖形的面積或者將填充圖形連接到公共電極,同時搭配填充圖形到信號線的距離增加到大于60μm,可以大大降低靜電放電發生的概率,不良率由20%降低到0%。結果充分表明,此設計方案可應用于實際產品設計中以降低摩擦工藝過程中的ESD風險。
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