《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志屬于中科院分區：4區，目前未查詢到影響因子相關數據，以下是該期刊的其他相關數據：
OA是否開放：未開放
Gold OA文章占比：0.00%
是否預警：否
出版語言：English
中科院分區信息：
從大類學科分區來看，《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志在中科院最新升級版分區表中位于工程技術4區。工程技術是一個廣泛的學科領域，涵蓋了從工程：電子與電氣的各個層面。該雜志能夠躋身4區，足以證明其在工程技術領域內的學術水平和影響力。
進一步細分到小類學科，該雜志則屬于ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工程：電子與電氣領域，位于4區。
中科院分區信息
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2023年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2022年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
|
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2021年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
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4區
4區
4區
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否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2021年12月基礎版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
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4區
4區
4區
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否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2021年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
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4區
4區
4區
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否 | 否 |
真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學2020年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
PHYSICS, APPLIED
物理：應用
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4區
4區
4區
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否 | 否 |
中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果。在中科院期刊分區表中，主要參考3年平均IF作為學術影響力，最終每個分區的期刊累積學術影響力是相同的，各區的期刊數量由高到底呈金字塔式分布。
從影響因子的角度來看，《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志也表現出色，該雜志影響因子在不同年份有所波動，但總體呈上升趨勢，這種趨勢不僅反映了該雜志在學術界的影響力逐漸增強，也體現了其在推動Materials Science-Materials Chemistry領域發展方面的積極作用。
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