《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》出版語言：English，具體論文語言需根據相關征稿要求而定，可聯系雜志社或在線客服。
該雜志是一本由SPIE出版的國際知名學術期刊，創刊于2007年，出版語言：English，專注于ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY領域，重點介紹ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY的最新關鍵主題。每篇文章都是對該主題的最新、完整的總結，方便尚未深入研究的人閱讀。
《微/納米光刻、MEMS 和 MOEMS 雜志》（JM3）發表同行評審的論文，內容涉及光刻、制造、封裝和集成技術的科學、開發和實踐，這些技術對于滿足電子、微機電系統、微光機電系統和光子學行業的需求必不可少。
此外，關于《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》的數據統計如下：
（1）JCR分區信息：按JIF指標學科分區：Q3，按JCI指標學科分區：
JCR分區信息
Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems（2023-2024年最新版數據）
| 按JIF指標學科分區 | 收錄子集 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 187 / 275 |
32.2%
|
| 學科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 255 / 342 |
25.6%
|
| 學科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 91 / 107 |
15.4%
|
| 學科：OPTICS | SCIE | Q3 | 68 / 100 |
32.5%
|
湯森路透每年出版一本《期刊引用報告》（Journal Citation Reports，簡稱JCR）。JCR對86000多種SCI期刊的影響因子（Impact Factor）等指數加以統計。JCR將收錄期刊分為176個不同學科類別在JCR的Journal Ranking中，主要參考當年IF，最終每個分區的期刊數量是均分的。
（2）Cite Score（2024年最新版）
Cite Score（2024年最新版）
- CiteScore：3.4
- SJR：0.393
- SNIP：1.723
| 學科類別 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Mechanical Engineering | Q2 | 299 / 672 |
55%
|
| 大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering | Q2 | 389 / 797 |
51%
|
| 大類：Engineering 小類：Atomic and Molecular Physics, and Optics | Q3 | 113 / 224 |
49%
|
| 大類：Engineering 小類：Condensed Matter Physics | Q3 | 223 / 434 |
48%
|
| 大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 155 / 284 |
45%
|
CiteScore：該指標由Elsevier于2016年提出，指期刊發表的單篇文章平均被引用次數。CiteScorer的計算方式是：例如，某期刊2022年CiteScore的計算方法是該期刊在2019年、2020年和2021年發表的文章在2022年獲得的被引次數，除以該期刊2019年、2020年和2021發表并收錄于Scopus中的文章數量總和。
（3）在中科院分區表中，大類學科中物理與天體物理為：2區，小類學科中ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONICENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY：3區
中科院分區信息
微納光刻技術雜志2023年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 物理與天體物理 | 2區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
3區
3區
3區
3區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2022年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 物理與天體物理 | 3區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2021年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2021年12月基礎版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2021年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2020年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 3區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
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否 | 否 |
中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果。在中科院期刊分區表中，主要參考3年平均IF作為學術影響力，最終每個分區的期刊累積學術影響力是相同的，各區的期刊數量由高到底呈金字塔式分布。
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